การทำพิธีตั้งศาลพระภูมิใช้เวลาประมาณ 1 ชั่วโมง แต่ไม่รวมการเตรียมการที่ใช้เวลาล่วงหน้า 1 วัน หลังจากได้ฤกษ์แล้วก็ต้องขุดหลุมเตรียมลงเสา และทำพิธีอัญเชิญเจว็ดขึ้นศาล ดังนี้
1. ดูฤกษ์ยาม
พราหมณ์หรือผู้ตั้งศาลจะดูฤกษ์ยาม และวันตั้งศาลให้ โดยในแต่ละเดือนมีฤกษ์และวันห้ามตั้งศาลที่ไม่เหมือนกัน
2. ขุดหลุมเตรียมเสา
ก่อนตั้งศาลต้องขุดหลุมเตรียมศาล โดยผู้ทำพิธีจะแจ้งว่าให้ขุดตรงไหน ลงฐานศาลพระภูมิทิศไหน และตรวจสอบความเรียบร้อยทั้งหมดในช่วงเย็น เพื่อให้วันต่อมาทำพิธีตั้งศาลพระภูมิได้ตามฤกษ์
3. ตั้งเครื่องสังเวย
เตรียมเครื่องสังเวย ตั้งโต๊ะบูชาตามความเชื่อ โดยปูผ้าขาว ตั้งเครื่องสังเวย เตรียมธูปเทียน ผ้าแพร 3 สี สำหรับตาดเสา
4. เชิญเจว็ดขึ้นศาล
เมื่อถึงฤกษ์เทปูน เชิญตัวแทนพระภูมิ เรียกว่า “เจว็ด” เป็นรูปเทวดายืนด้วยไม้ อยู่ในรูปพัทธสีมา อันเป็นตัวแทนของพระภูมิ เชิญเจว็ดขึ้นศาล ไหว้เทวดา และออกชื่อพระภูมิ ผู้ตั้งศาลประนมมือกล่าวคาถา
"ยัสสานุสสะระเณนาปิ อันตะลิกเข ปิปาณิโน
ปะติฏฐะมะธิคัจฉันติ ภูมิยัง วิยะ สัพพะทา
สัพพูปัททะวะชาลัมหา ยักขะโจราทิสัมภะวา
คะณะนา นะจะ มุตตานัง ปะริตตันตัม ภะณามะเห"
5. ตักเครื่องสังเวยใส่กระทง
หลังจากเชิญเจว็ดขึ้นศาลแล้ว เมื่อขอพรเสร็จก็นำเครื่องสังเวยใส่กระทง นำไปตั้งไว้บนที่ดินศาล แล้วนำผ้าแพร 3 สีผูกที่เสาพระภูมิ
